Instituto Nacional de Engenharia de Superfcies


Artigos e Patentes

Laboratrio de Pesquisas Fotovoltaicas - Universidade Estadual de Campinas (Unicamp)

Referncia

G. A. Viana and F. C. Marques. Amorphous Carbon Deposited By Sputtering And Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Without Vacuum Pumping During Deposition, International Conference on Metallurgical Coating and Thin Films, San Diego, April 27, 2009.

Tipo
Trabalhos em conferncias internacionais
Grupo de pesquisa
Laboratrio de Pesquisas Fotovoltaicas - Universidade Estadual de Campinas (Unicamp)
Coordenador
Francisco das Chagas Marques

Palavras-chave: 2009, carbono amorfo, chagas marques, conferncia internacional, PECVD

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